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    MEMS Probe壓電力學探測器
    
      
        MEMS Probe壓電力學探測器
        
      壓電力學探測器

l  彎曲導軌可實現最小傾斜度的線性運動

l  行程范圍為1 mm

l  力至100 n

l  剛性和無側隙結構

l  可提供集成位置傳感器

l  壓電執行器的使用壽命

l  理想的OEM致動器，用于自適應系統技術中的力生成，用于納米壓印工藝或機床

l  具有更長行程范圍、更短響應時間或無磁性的定制版本
      
        
      更新時間：2024-11-08型號：MEMS Probe訪問量：701
      
    
      
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